EP86: 【先進製程/封裝】 台灣清大自研光阻劑發展已有初步成果,台積發展新一代製程可望無後顧之憂 ft. 清大化學系及半導體學院教授 劉瑞雄

Tech666

台灣半導體產業發展已然來到了全新的世代,台積電在全球居於領導地位的情況下,在供應鏈管理上要如何未雨籌謀,對於台灣產官學研來說是一個相當重要的議題。

國科會在2019年發起「願景實現計畫」,由林本堅院士所領導。其中的子計畫主持人,也就是本集來賓劉瑞雄教授所帶領的團隊,便是針對新一代先進製程所需要的光阻劑進行研究。台灣在半導體材料與設備領域的自有化上,仍有相當大的努力空間,未來劉瑞雄教授的團隊若能量產新一代光阻劑,對於台灣半導體產業的未來發展,將有相當大的助益。

本集重點:
1. 因應1.4nm與新一代先進製程發展,EUV與光阻劑搭配至關重要
2. 台積光阻劑事件記憶猶新,台灣產業界應積極推動新一代光阻劑技術發展

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