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中小地震でも性能発揮…大成建設、半導体装置向け免震装置を開発

「中小地震でも性能発揮…大成建設、半導体装置向け免震装置を開発」 大成建設は半導体製造装置向け高性能機器免震装置で、震度3―5弱程度の中小地震時にも免震性能を発揮する「TASSユニット」を開発した。転がり支承の車輪部分に摩擦抵抗を切り替える新たな技術を導入することで、中小地震から大地震までさまざまな規模の地震に対応できる。半導体製造装置の重要部品や製造途中の半導体製品が地震時に受ける被害を低減し、生産性向上への貢献につながる。