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半導体、先進後工程で需要深耕…東京精密が600mm角の中間基板向けPLP対応装置開発

「半導体、先進後工程で需要深耕…東京精密が600mm角の中間基板向けPLP対応装置開発」 東京精密は600ミリ×600ミリメートル角と大型再配線層(RDL)インターポーザー(中間基板)向けの研究開発を始める。主力のダイサーやグラインダー、検査装置のプローバーなどにおいて、同インターポーザーに対応できるようにする。早ければ2028年度に製品化する方針だ。AI(人工知能)向けの半導体で適用が進むアドバンスドパッケージ(先進後工程)で需要を深耕する。