GAAトランジスタで国内唯一のパイロットライン…産総研、先端半導体領域の産業競争力に

「GAAトランジスタで国内唯一のパイロットライン…産総研、先端半導体領域の産業競争力に」　産業技術総合研究所先端半導体研究センターは、ゲートオールアラウンド（ＧＡＡ）構造トランジスタを試作できる共用パイロットラインを確立した。半導体装置メーカーや材料メーカーは量産用の直径３００ミリメートルウエハーで自社技術を検証できる。国内唯一のパイロットラインになる。先端半導体領域の産業競争力につなげる。