超臨界流体成膜による半導体製造装置…長州産業と熊本大、開発で連携

「超臨界流体成膜による半導体製造装置…長州産業と熊本大、開発で連携」　長州産業（山口県山陽小野田市、岡本晋社長）は、熊本大学と共同で超臨界流体成膜（ＳＣＦＤ）による半導体製造装置の開発を目指す。高温高圧の流体を用いた均質な成膜により、半導体のシリコン貫通ビア（ＴＳＶ）の量産を実現する。まず２０２７年度までに同装置の要素技術の確立にこぎつける。