解像度5倍以上…日立ハイテク、半導体材料開発向け「電子顕微鏡」の性能

「解像度5倍以上…日立ハイテク、半導体材料開発向け「電子顕微鏡」の性能」　日立ハイテクは従来機に比べて５倍以上の高解像度画像を取得できる電界放出形走査電子顕微鏡（ＦＥ―ＳＥＭ）「ＳＵ９６００＝写真」の販売を始めた。自動化機能も使うことで、データ取得のスループット（処理能力）も向上させた。次世代の半導体前工程や材料の開発向けに売り込む。消費税抜きの価格は９８００万円で、年間４０台の販売を目指す。