最先端半導体に対応...DNPが開発、回路線幅10㎚のテンプレート

「最先端半導体に対応...DNPが開発、回路線幅10㎚のテンプレート」　大日本印刷（ＤＮＰ）は半導体の回路パターン形成に使用するナノインプリントリソグラフィー（ＮＩＬ）向けに、１・４ナノメートル（ナノは１０億分の１）世代相当のロジック半導体にも対応可能な回路線幅１０ナノメートルのテンプレートを開発した。