20年ぶり建屋新設…次世代露光装置に照準、東京エレクトロンが熊本に開発棟

「20年ぶり建屋新設…次世代露光装置に照準、東京エレクトロンが熊本に開発棟」　東京エレクトロンはコータ・デベロッパ（塗布現像）などを開発・製造する子会社、東京エレクトロン九州（熊本県合志市）に開発棟を新設した。建屋の新設は約２０年ぶりで、２０２６年春に本格稼働する。クリーンルーム面積を従来の約２倍に拡充。同時に開発効率も従来比約２倍に高め、技術開発量を同約４倍まで増やす計画だ。ロジック半導体などで回路微細化が進展する中、製造技術でも進化の歩みを止めず、攻勢を強める。（小林健人）