SiCなどパワー半導体向けで好相性…住友金属鉱山が開発、粒径100ナノメートル酸化銅粉の特徴

「SiCなどパワー半導体向けで好相性…住友金属鉱山が開発、粒径100ナノメートル酸化銅粉の特徴」　住友金属鉱山は粒径１００ナノメートル（ナノは１０億分の１）の耐酸化ナノ銅粉を開発した。同製品はパワー半導体関連材料である半導体の基板同士やチップと基板を接合する接合材での活用が見込まれる。開発済みの粒径２００ナノメートルの品種も顧客認定に向けて複数のサンプルワークを加速する。１００ナノメートル品も含めて２０２６年度の量産開始に向けて検討を進める。