難分解性有機物を検出…島津、半導体製造向けTOC計発売

「難分解性有機物を検出…島津、半導体製造向けTOC計発売」　島津製作所は半導体製造に必要な超純水をモニタリングする超純水用オンラインＴＯＣ（全有機体炭素）計を発売した。独自の測定アルゴリズムにより、半導体製造工程に必要とされるＴＯＣ濃度１リットル当たり１マイクログラム以下の安定した測定を実現した。半導体メーカーや超純水製造機器メーカーなどへの販売を想定し、今後１年間で３００台の販売を目指す。